Passivation de gaas par déposition lf-pecvd du nitrure de silicium

Passivation de gaas par déposition lf-pecvd du nitrure de silicium

Passivation de gaas par déposition lf-pecvd du nitrure de silicium
2011164 pagesISBN 9786131581618
Format: BrochéLangue : Français

Les performances de plusieurs dispositifs fabriqués sur des matériaux III-V sont lourdement affectées par la grande densité des états de surface qui sont localisés au voisinage du milieu de la bande interdite (niveaux profonds)...

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