Caractérisation électrique des transistors FinFETs : Bruit basse fréquence

Caractérisation électrique des transistors FinFETs : Bruit basse fréquence

Caractérisation électrique des transistors FinFETs : Bruit basse fréquence
2011152 pagesISBN 9786131577888
Format: BrochéLangue : Français

Dans ce travail, des mesures en régime statique et en bruit ont été effectuées sur des transistors FinFETs réalisés sur substrat SOI, issus de la technologie 32 nm, ayant deux différents isolants de grille. L'un est l'oxyde d'hafnium et le second est le silicate d'hafnium nitruré. La plupart de ces dispositifs ont subi des techniques de contrainte mécanique locales et globales...

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