Capacités Variables et Inductances MEMS RF (Intégration 'Above-IC')

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2014184 pagesISBN 9783841741295
Format: PocheLangue : Français
Ce projet présente le design, la simulation et la fabrication des capacités variables à électrodes fragmentées (AlSi) qui se déplacent latéralement à l'aide d'actionneurs électrothermique et électrostatique...
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