Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium

Éditeur: Lavoisier-Hermès
2002224 pagesISBN 9782746205079
Format: BrochéLangue : Français
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que microdispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement.
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