Caractérisation des couches minces élaborées par PECVD et HWCVD
Éditeur: Editions Universitaires Européennes
201692 pagesISBN 9783639542417
Format: BrochéLangue : Français
Des couches minces de carbure de silicium amorphe hydrogéné sont élaborées par PECVD et HWCVD sur des substrats de verre et de silicium. Les propriétés optiques nous ont permis d'estimer la largeur de la bande interdite...
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