Procédés plasmas pour le management thermique microélectronique : Du procédé à l'obtention de matériaux à haute performance
Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2010212 pagesISBN 9786131528897
Format: BrochéLangue : Français
Ces travaux sont axés sur la mise au point d'un procédé de synthése de couches minces à basse température d'un matériaux diélectrique à forte conductivité thermique pour la passivation de semi conducteur...
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