L'oxyde d'hafnium pour la microélectronique : Caractérisation et modélisation électrique
Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2011304 pagesISBN 9786131580376
Format: PocheLangue : Français
Du fait de sa grande constante diélectrique et sa large bande interdite, l'oxyde d'hafnium a récemment été proposé pour remplacer l'oxyde thermique classique...
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