La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs

sciences comme la physique, l'électronique, l'optique ou la mécanique,

contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement

impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse

des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions

chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces

optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours

des dernières décennies, la taille des transistors s'est considérablement

réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s'est accrue. Cette

évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la micro-électronique

exposée dans cet ouvrage.

Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées

lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages

jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de

l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion

des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin

d'illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l'ouvrage expose

les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques

ou les capteurs sur la personne.