Techniques de fabrication des microsystèmes. Vol. 1. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Techniques de fabrication des microsystèmes. Vol. 1. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Techniques de fabrication des microsystèmes. Vol. 1. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
2004ISBN 9782746208179
Format: BrochéLangue : Français
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