Etude d''un micro-gyromètre deux axes à poutre vibrante en silicium

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2010192 pagesISBN 9786131550768
Format: BrochéLangue : Français
Les travaux présentés ont pour but l''optimisation et la réalisation d''un gyromètre micro usiné à poutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s''inscrivent dans la continuité de thèses précédemment effectuées à FEMTO-ST et consacrées au développement de structures en étoile. Cette configuration est appropriée à la réalisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat...
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