Le silicium poreux

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2011156 pagesISBN 9786131576058
Format: BrochéLangue : Français
Ce travail met en évidence l'importance du silicium poreux en présence de tétrachlorure de silicium dans le gettering et le blocage des impuretés lors de la croissance et l'obtention de couches minces de très grande qualité. La première partie est consacrée à une généralité sur les propriétés des couches minces de Si...
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