Développement d''un nouveau système d''implantation ionique
Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2010172 pagesISBN 9786131518782
Format: BrochéLangue : Français
L''objectif de ce travail était double : le développement d''un réacteur d''implantation par immersion plasma et l''analyse des mécanismes de nitruration...
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