Intégration du siliciure de nickel : pour les technologies CMOS décananométriques

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2012228 pagesISBN 9783841788849
Format: BrochéLangue : Français
Le siliciure de nickel pur ou allié avec du platine est maintenant utilisé comme contacts dans les technologies CMOS car il nécessite un plus faible budget thermique, possède une plus faible résistivité, consomme moins de silicium, a une formation contrôlée par la diffusion et permet d'obtenir une phase peu résistive sur SiGe, contrairement à son prédécesseur le siliciure de cobalt...
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