L''objet de cette étude est la gravure par plasma de matériaux hybrides SiOC(H). Leurs propriétés ajustables entre organiques et inorganiques leurs donnent de grandes potentialités. Ce travail est dédié à deux applications en microélectronique. 1)L''étude s''est portée sur des polymères à base de Polyhedral oligomeric silsesquioxane appliquée à la lithographie optique...