Mise au point d'un réacteur épitaxial cbe

Éditeur: Presses Académiques Francophones
2014120 pagesISBN 9783841629364
Format: BrochéLangue : Français
Ce travail consiste à l'asservissement et la mise en marche d'un réacteur d'épitaxie par jets chimiques au Laboratoire d'Epitaxie Avancée de l'Université de Sherbrooke. Le réacteur sert à la croissance dans l'ultravide de matériaux semi-conducteurs tels que l'arséniure de gallium (GaAs) et le phosphure d'indium-gallium (GaInP)...
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