Les interactions ions énergétiques-solides : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces
Éditeur: In fine
1997383 pagesISBN 9782840460473
Format: ReliéLangue : Français
A. Richardt et A.-M. Durand présentent le procédé de pulvérisation cathodique et en décrivent l'application aux dépôts de films à partir de cibles simples comme les matériaux purs, jusqu'aux cibles complexes comme les pérovskites.
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