Réalisation de microchambres d'analyse chimique : Microcapteurs de pH et microfluidique associés

Réalisation de microchambres d'analyse chimique : Microcapteurs de pH et microfluidique associés

Réalisation de microchambres d'analyse chimique : Microcapteurs de pH et microfluidique associés
2014180 pagesISBN 9783838149332
Format: PocheLangue : Français

Ce travail porte sur la réalisation d'un système d'analyse chimique constitué d'un réseau de micro-chambres abritant des microcapteurs de pH de type transistors à effet de champ à grille suspendue (SGFETs) très sensibles aux charges contenues dans l'espace sous le pont-grille. Les SGFETs ont été fabriqués en utilisant les procédés de la microtechnologie de surface...

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