Transport sous contrainte me canique pour la microélectronique cmos

Transport sous contrainte me canique pour la microélectronique cmos

Transport sous contrainte me canique pour la microélectronique cmos
2010244 pagesISBN 9786131519383
Format: BrochéLangue : Français

La course à la miniaturisation des transistors MOS implique de nouvelles technologies d''amélioration des performances. L''ingénierie de contrainte mécanique est aujourd''hui devenue une étape incontournable. Les objectifs de ce travail sont de modéliser les dispositifs des prochains noeuds technologiques et de quantifier l''impact de la contrainte mécanique...

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