Donneurs thermiques dans le silicium Czochralski

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
201776 pagesISBN 9783330865808
Format: BrochéLangue : Français
Le silicium de type Czochralski (Cz-Si) dopé au bore est caractérisé par une forte contamination en oxygène. Il se forme, ainsi, au cours du refroidissement du lingot de silicium, une variété de défauts et des complexes d'oxygène actifs...
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