Daniel Hauden

Editorial

Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Yves Bertrand, Pascal Nouet

MEMS monololitiques. Application à la mesure du champ magnétique.

Monolithic MEMS. Application to magnetic field measurement

Jean-Claude Jeannot, Gerold Schropfer, Jérôme Goy, Bernard Courtois, Michel de Labachelerie.

Micro-accéléromètre intégré trois axes.

Triaxial integrated micro-accelerometer

Philippe Hélin, Tarik Bourouina, Hiroyuki Fujita, Hideyuki Maekoba, Orphée Cugat, Gilbert Reyne

Self-aligned Vertical Mirrors and V-grooves for Magnetic Micro Optical Matrix Switch - Si Technology, Modelling and Optimisation of Actuation.

Réseau de microcommutateurs optiques à actionnement électromagnétique avec guides en V et miroirs verticaux auto-alignés - Technologies silicium, modélisation et optimisation de l'actionnement.

Gaëlle Bazin, Patrick Sangouard, Geneviève Baudouin, Christian Ripoll, Pierre Nicole

Microsystèmes autonomes sans fils.

Autonomous wireless microsystems