Lorsqu'un faisceau d'ions d'énergie cinétique de quelques keV interagit avec une cible solide, une pulvérisation se produit et des particules de différents types (e-, espèces neutres ou ioniques, agrégats...) sont éjectées de la cible. Ce type d'interaction provoque aussi l'éjection de particules dans des états électroniquement excités et des radiations électromagnétiques peuvent être émises...