Elaboration de diamant cvd par plasma micro-onde ch4-h2 en mode pulsé
Éditeur: Presses Académiques Francophones
2015ISBN 9783841630544
Format: BrochéLangue : Français
Cet ouvrage concerne l'étude d'un procédé MPACVD opérant en mode pulsé dans un mélange gazeux constitué principalement de H2-CH4...
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