Elaboration de nano-objets cristallins (Si & SiGe) par RTCVD : Cinétiques et morphologies

Éditeur: Editions Universitaires Européennes
2011276 pagesISBN 9786131561801
Format: PocheLangue : Français
Aujourd'hui, la loi de Moore est affectée par les limitations physiques rencontrées dans les technologies avancées entrainant ainsi leur complexification. Il devient alors nécessaire de développer de nouveaux procédés, comme illustré dans le cas de l'épitaxie...
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